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仪器名称： SU8600场发射扫描电子显微镜（High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope）

仪器厂家：日本Hitachi公司

仪器型号：SU8600

仪器详细说明：

一、主要技术指标：

二次电子像分辨率：0.6nm@15kV，0.7nm@1kV

电子枪：冷场发射电子源

放大倍率： 20-2,000,000×

加速电压：0.5kV-30kV

能谱仪：重元素能量分辨率：Mn Ka优于127 eV（@计数率130,000 cps）。轻元素能量分辨率：F Ka优于64 eV（@计数率130,000 cps）；能量分辨率: C Ka 优于56 eV（@计数率130,000 cps）分析元素范围：3Li-83Bi;有效面积:100mm2

二、主要附件及功能：

1.STEM功能，可以实现低电压扫描透射功能，方便判断核壳结构与表面形貌的对比；2. HD超高像素取图功能，可能对薄片样品实现大范围高分辨率的取图；3.Plasma Cleaning等离子体清洗，可以帮助在样品室中清洗样品，同时避免污染物镜；4.Oxford Ultim Extreme电制冷无窗能谱仪，提高对低能端X射线的灵敏度，AZtec Live和Tru-Q ®分析引擎结合实现低加速电压下的数据处理和分析，优化TruMap可用于低电压谱峰重叠校正；5.Leica CPD300全自动临界点干燥仪，以完全自动且受控的流程对生物或材料样品进行干燥。6.Leica ACE600高真空镀膜仪，镀膜厚度准确可控，可任选离子溅射模式镀铂和碳丝蒸发镀碳两种模式。

三、仪器主要应用领域和提供服务范围：

适合于观察样品表面超微形貌特征，纳米级的固体物质表面形貌表征、粒径测量、结构分析及微区元素定性分析分布。可应用于环境科学、金属材料、纳米材料、高分子材料等领域。